博士門 大秀奈米級光罩儲存櫃

博士門 大秀奈米級光罩儲存櫃

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精密潔淨奈米級光罩儲存櫃。圖/博士門提供

專業控溼設備廠商博士門今年將參與「SEMICON Taiwan國際半導體展」,於9月14日至16日在臺北南港展覽館一館1樓智慧能源管理專區,展示半導體各式光罩氮氣櫃、PCB臺車系列、監控系列2HTDP、手套櫃,以及今年剛獲得第19屆國家品牌玉山獎「最佳產品類」的專利奈米級光罩儲存櫃。

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臺灣擁有全球最強大及最具競爭力的半導體供應鏈,在先進製程中,最需要半導體設備廠商提供先進精密設備,以解決生產速度及產品良率的雙重挑戰。

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博士門「精密潔淨奈米級光罩儲存櫃」提供奈米級光罩一個潔淨及乾燥儲存空間,進而大幅提升晶圓製造的良率及技術競爭。

此設備以獨立的溼度值回饋,確保每一個奈米級光罩盒內有氮氣進出,確實執行乾式清潔及保持光罩盒內乾燥,並以溼度值設定,氮氣智慧節能系統來控制氮氣「啓動」與「關閉」,經工研院檢測確實可節省80%以上氮氣流量,降低生產成本,符合環保節能的綠能規範,而可視化氮氣及溫溼度顯示及記錄功能,可大幅提高保存的可靠度及效度,利用RFID掃描光罩盒之TAG確認內裝光罩資訊,獨立監控每一個光罩盒保存櫃位內的進出狀態。

博士門以「控溼專家」、「環保節能」等環境控制技術專業作爲產品核心價值,擁有軟體、韌體及機構專業研發團隊,30年來經過積極的品牌推廣及落實,成功爲各產業客戶解決其各種保存問題,產品性能優異,讓客戶更能落實ESG永續發展的趨勢。

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